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Trifluorure d’azote CAS: 7783-54-2
Alias:NF3; Perfluoroammonia; Trifluoramine; Trifluoramonia; Stickstofftrifluorid;fluorure d’azote; N,N,N-Trifluoroamine
Numéro de CAS :7783-54-2
EINECS n° 232-007-1
Formule moléculaire: NF3
N° ONU:2451
SFR®fournit du trifluorure d’azote (NF3) de haute pureté à nos clients mondiaux, le trifluorure d’azote (NF3), en tant que sorte de gaz spécial contenant du fluor, est chimiquement inerte à température ambiante, plus actif que l’oxygène et plus stable que le fluor à haute température. Le trifluorure d’azote est principalement utilisé comme gaz de gravure au plasma et agent de nettoyage de la chambre de réaction. Il convient aux puces semi-conductrices, aux écrans plats, aux fibres optiques, aux cellules photovoltaïques et à d’autres domaines de fabrication. Comparé à d’autres gaz électroniques contenant du fluor, le trifluorure d’azote présente les avantages d’une réaction rapide et d’une efficacité élevée. En particulier dans la gravure de matériaux contenant du silicium tels que le nitrure de silicium, il a un taux de gravure et une sélectivité élevés, n’a pas de pollution à la surface et peut répondre aux besoins du processus de traitement.
Spécification
Articles |
Unité |
Pureté |
Pureté de NF3 |
(V/V)10-2 |
≥99,999 % |
Azote(N2) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Oxygène + Argon (O2 + Ar) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Dioxyde de carbone (CO2) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Monoxyde de carbone (CO) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Tétrafluorure de carbone (CF4) |
(V/V)10-6 |
≤10 |
H2O |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Hexafluorure de soufre (SF6) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Fluorure d’hydrogène (HF) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Protoxyde d’azote (N2O) |
(V/V)10-6 |
≤1 |
Avantage:
● Haute pureté
● Large gamme d’applications
Colis:
47L / 470L / Bundle / ISO
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